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技術(shù)文章

1200℃立式管式氣氛爐

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AFD系列立式管式氣氛爐的*設(shè)計能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護條件下對樣品快速升降溫,四面加熱,溫場更均勻,立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮氣、氧氣、氧化碳、氨分解氣等氣體,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點,特別適合薄膜生長、電測試、氧化物晶體生長、快速退火等實驗需要!

1200℃立式管式氣氛爐適用范圍:

 立式管式氣氛爐主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

1200℃立式管式氣氛爐技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

1200度立式管式氣氛爐

產(chǎn)品型號

AFD1200-50

爐管尺寸

Φ50×1000mm

溫區(qū)長度

440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制)


恒溫區(qū)長
 

200mm

工作溫度

1100℃(此溫度為加熱溫度)

高溫度

1200℃

控溫方式

智能化30段可編程控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示)

控溫度

±1℃

溫控保護

具有超溫和斷偶保護功能

加熱速率

0~20℃/分

加熱元件

含鉬合金加熱絲

工作電壓

AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)

大功率

3KW

爐膛材料

采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強

法蘭接頭

標(biāo)配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥。

密封系統(tǒng)

該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好、可12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。

真  空 度

雙旋片機械泵:10^-2 torr
分子泵機組:10^-5 torr


供氣系統(tǒng)
 

該爐配有浮子流量計,客戶可通過浮子流量計或質(zhì)子流量計控制氣體的流速。


爐管材質(zhì)
 

氣煉石英管


氣  密  性
 

4.03×10-3Pa

測溫元件

K型熱電偶測溫

凈       重

70KG

提供相關(guān)配件

氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、爐塞


電氣認(rèn)證
 

CE認(rèn)證


售后服務(wù)
 

12個月質(zhì)保、終身保修

聯(lián)


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